MESSTECHNIK & ANALYTIK

 Kompakte Messtechnik für Lecktests 

Stabile Vakuumprozesse sicher prüfen

Stabile Vakuumbedingungen sind eine zentrale Voraussetzung für reproduzierbare Prozesse in Industrie und Forschung. Ob in der Dünnschichttechnik, der chemischen Verfahrenstechnik oder in analytischen Anwendungen – selbst kleinste Leckagen oder materialbedingte Ausgasungen können zu Qualitätseinbußen, Prozessinstabilitäten oder erhöhtem Energiebedarf führen. Eine präzise und verlässliche Dichtigkeitsprüfung von Vakuumkammern und -anlagen ist daher unverzichtbar.

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Thyracont GmbH

Herausforderungen bei der Dichtigkeitsprüfung

Vakuumsysteme müssen über längere Zeiträume hinweg konstante Druckverhältnisse gewährleisten. Besonders im Grob- und Feinvakuumbereich ist die exakte Erfassung kleinster Druckänderungen entscheidend, um Leckagen sicher zu identifizieren. Neben der reinen Messgenauigkeit spielen dabei auch Aspekte wie Langzeitstabilität, einfache Datenauswertung und flexible Einsatzmöglichkeiten eine wichtige Rolle – insbesondere in Service, Wartung und Forschung.

 

Kompakte Messtechnik für breite Einsatzbereiche

Mit dem VD850 steht ein kompaktes Vakuummeter zur Verfügung, das Absolut- und Relativdruck über einen weiten Messbereich abdeckt. Möglich wird dies durch einen kombinierten Piezo/Pirani-Sensor, der sowohl im Grob- als auch im Feinvakuum präzise Messergebnisse liefert.

Das Gerät eignet sich unter anderem für

1

die direkte Drucküberwachung von Vakuumkammern, Evakuierungsprozessen und Produktionsanlagen

2

die Leckratenbestimmung mittels Druckanstiegsmessung

3

die Langzeitaufzeichnung von Messdaten über einen integrierten Datenlogger mit Exportfunktion.

Leckratenbestimmung per Druckanstiegsmessung

Die Leckratenbestimmung erfolgt nach einem bewährten und praxisnahen Verfahren: Zunächst wird die Vakuumkammer mithilfe einer Pumpe auf den gewünschten Enddruck evakuiert. Anschließend wird das System vom Pumpensystem getrennt, indem Ventile geschlossen werden.

Das VD850 zeichnet nun den Druckverlauf im abgeschlossenen System auf. Die Steigung dieser Druckkurve dient als Maß für die integrale Leckrate. In die Berechnung der Leckrate fließt dabei das Volumen der Vakuumkammer ein, das möglichst genau bekannt bzw. realistisch abgeschätzt werden muss, um belastbare Ergebnisse zu erhalten. Besonders bei komplexen Anlagen oder variablen Aufbauten kommt der korrekten Volumenannahme eine entscheidende Bedeutung zu. Das Verfahren erlaubt eine schnelle und zuverlässige Aussage über die Dichtheit des Systems – ohne zusätzlichen Messaufwand.

Alle Messwerte werden im internen Datenlogger mit Zeitstempel der integrierten Echtzeituhr gespeichert. Die Datenübertragung erfolgt wahlweise über USB-C oder Bluetooth LE an einen PC oder ein mobiles Endgerät. Mit der VacuGraph-Software lassen sich die Messdaten übersichtlich visualisieren und für weiterführende Analysen auswerten.

 

Flexibel einsetzbar in Praxis und Forschung

Durch die Kombination aus direkter Messung, integrierter Datenspeicherung und intuitiver Softwareunterstützung eignet sich das VD850 gleichermaßen für Anwendungen in Service und Wartung, in der Produktion sowie in Forschungs- und Entwicklungsumgebungen. Die Ergebnisse sind unmittelbar am Gerät ablesbar oder lassen sich softwaregestützt detailliert analysieren.

 

Praxisbeispiel aus der Industrie

Ein Anwender aus der Praxis ist spezialisiert auf die Fertigung von Dünnschicht- und Kurzwegdestillationsanlagen zur thermischen Stofftrennung. Die Volumina der eingesetzten Labor- und Pilotanlagen liegen je nach Anlagentyp zwischen 1 und 50 Litern.

Zur Qualitätssicherung wird hier eine 30-minütige Druckanstiegsmessung durchgeführt. Die zulässige Leckrate beträgt 0,1mbar·l/s, der geforderte erreichbare Enddruck liegt bei 0,001mbar. Mit dem eingesetzten Kompakt-Vakuummeter lassen sich diese Anforderungen zuverlässig überprüfen und dokumentieren.

Die präzise Leckratenbestimmung und kontinuierliche Drucküberwachung sind entscheidende Faktoren für die Betriebssicherheit und Effizienz moderner Vakuumanlagen. Kompakte Messlösungen mit integrierter Datenauswertung bieten Anwendern dabei eine praxisnahe und wirtschaftliche Möglichkeit, Vakuumprozesse zuverlässig zu überwachen und abzusichern.